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鼎泰芯源的技术特点

 

【晶圆加工基本工艺流程】

 

【单晶生长技术】

 ①LEC(液封直拉技术): > 30年历史

                图1  LEC生长工艺

②垂直梯度凝固(VGF)
    垂直梯度凝固法(Vertical gradient freeze),简称VGF,是

    一种结合了液体直拉法和VB法优点的晶体生长方法。

   

         图2  VGF生长工艺

特点:

       1.低位错密度;

       2.高晶体质量;

       3.电参数均匀性高。

       


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